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In order to prevent the film from being unstably formed due to a change of a tip position of the nozzle, which is induced by a deformation of the nozzle 104 due to thermal expansion during film formation, an opening control member 107 having an opening part 107a is provided which fits in each of the nozzles 104.例文帳に追加
成膜中にノズル１０４が熱膨張によって変形し、ノズル先端位置が変化して成膜が不安定になるのを防ぐために、各ノズル１０４に嵌合する開口部１０７ａを有する開口制御部材１０７を設ける。 - 特許庁
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