inter facialとは 意味・読み方・使い方

To provide a method for forming a tungsten layer capable of increasing an apparent film forming rate on the whole by the elimination of incubation time after the formation of a nuclear crystal film and moreover capable of increasing the inter facial uniformity (reproducibility) of the film thickness.例文帳に追加

核結晶膜成膜後のインキュベーションタイムをなくして全体の見かけ上の成膜速度を高めると共に、膜厚の面間均一性（再現性）を高めることができめるタングステン層の形成方法を提供する。 - 特許庁