least square analysisとは 意味・読み方・使い方

To provide a layered structure inspection method for easily analyzing a layered structure in a layered body formed of two or more thin films layered on a base board in spite of increase in the number of layers and easily correcting an incident angle and to provide a method for finding reliability of an analysis value obtained by least square method analysis.例文帳に追加

基板上に２層以上の薄膜を形成した積層体において、積層数が増えても容易に積層構造を解析でき、かつ、容易に入射角補正が可能な積層構造検査法と、最小二乗法解析で得た解析値の信頼性を求める方法を提供することにある。 - 特許庁

A partial least-square regression (PLS) model is used as a prediction model to be used for the abnormality analysis rules, a Q statistical quantity and a T2 statistical quantity are used, and the abnormality determining section determines that the manufacturing apparatus is in an abnormal state if a value of the statistical quantity is not less than a set value.例文帳に追加

異常分析ルールに使用する予測モデルとして部分最小自乗回帰（ＰＬＳ）モデルを使用するとともに、Ｑ統計量およびＴ２統計量を使用し、異常判定部は、その統計量の値が設定値以上の場合に前記製造装置が異常と判定するようにした。 - 特許庁

When the measurement of specific resistance is completed and a plurality of specific resistance values along each horizontal course of traverse 1 are obtained, a finite element model is prepared, and reverse analysis by a limited least square method is done to form a two-dimensional specific resistance cross section distribution drawing along each horizontal course of traverse 1.例文帳に追加

比抵抗の測定が終了し、各水平測線１に沿った複数個の比抵抗値が得られると、有限要素モデルを作成し、制限付き最小二乗法による逆解析を行い、各水平測線１に沿った二次元比抵抗断面分布図を作成する。 - 特許庁