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mean free pathsとは 意味・読み方・使い方
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該当件数 : 2件
Upon the start of plasma irradiation, it is controlled so that the mean free paths of the ions land on the wafer surface with specified energy intensity.例文帳に追加
次に、プラズマが開始され；イオンの平均自由行程が所定のエネルギーをもって前記ウエハ表面に到達するように制御される。 - 特許庁
The application of the laser beams LL1 and LL2 results in production of the plume plasmas having density and temperature such that the collision mean free paths of ions in the plume plasmas PP1 and PP2 become no larger than a fraction of the distance traveled by the ions through a cross-colliding space.例文帳に追加
なお、レーザー光ＬＬ１，ＬＬ２の照射により、プルームプラズマＰＰ１，ＰＰ２内のイオンがプルームプラズマの交差衝突部空間を通過する距離に対して、上記イオンの衝突平均自由工程が数分の１以下となるような密度と温度を持つプルームプラズマが生成される。 - 特許庁
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