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該当件数 : 1件
The interference measuring method uses a transmissive zone plate forming both a first wave surface being a null wave surface for a test plane and a second wave surface being a null wave surface for a Fizeau plane by using a pair of equivalent opposite sign graded transmission diffractive lights, in addition to use of an interferometer and a Fizeau lens for the test plane measurement.例文帳に追加
干渉計と、被検面測定用のフィゾーレンズとを使用した干渉測定に、被検面に対するヌル波面である第１波面、及びフィゾー面に対するヌル波面である第２波面を、等量反対符号の次数の一対の透過回折光により形成する透過型ゾーンプレートを使用する。 - 特許庁
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