partial overhaulとは 意味・読み方・使い方

To provide an exposure device in which a lifetime to overhaul is prolonged by reducing the partial pressure of contaminants in a projection optical system lens-barrel thereby reducing the adhesion of the contaminants to an optical element as much as possible and suppressing degradation in optical characteristics.例文帳に追加

投影光学系鏡筒内のコンタミ物質の分圧を低減することによって光学素子へのコンタミ物質の付着をできるだけ少なくし、光学特性の劣化を抑え、オーバホールまでの寿命を長くした露光装置を提供する。 - 特許庁