plasma cathodeとは 意味・読み方・使い方

LARGE-AREA SUBSTRATE PROCESSOR USING HOLLOW CATHODE PLASMA例文帳に追加

ホローカソードプラズマを利用した大面積基板処理装置 - 特許庁

METHOD FOR TREATING LARGE-AREA SUBSTRATE USING HOLLOW CATHODE PLASMA例文帳に追加

ホローカソードプラズマを利用した大面積基板処理方法 - 特許庁

A high density plasma is formed by the hollow cathode electrode, and an efficiency of plasma dissociation caused by this high density plasma is enhanced, thereby enhancing a coating speed.例文帳に追加

ホローカソード電極により高密度プラズマを形成し、この高密度プラズマによるプラズマ乖離の効率を高め、成膜速度を向上させる。 - 特許庁

A discharge power supply 12 is connected between a plasma generating cathode 1 and a plasma generating porous anode 3 via a second switching element SW2, and plasma can be generated between the plasma generating cathode 1 and the plasma generating porous anode 3.例文帳に追加

プラズマ発生用陰極１とプラズマ発生用多孔陽極３との間には第２スイッチング素子ＳＷ２を介して放電電源１２が接続され、プラズマ発生用陰極１とプラズマ発生用多孔陽極３との間でプラズマを発生させることができる。 - 特許庁

Since the plasma jet is generated from the nozzle 12 at all times, the plasma arc is automatically generated between the cathode 11 and the object to be melted 30 even if the plasma arc generated between the cathode 11 and the object to be melted 30 is extinguished.例文帳に追加

ノズル１２からは常時プラズマジェットが発生されているため、カソード１１と被溶融物３０との間のプラズマアークが消弧しても、自動的にカソード１１と被溶融物３０との間にプラズマアークが発生する。 - 特許庁

The plasma discharge generator 13 includes an anode electrode 19, a first cathode electrode 20a, and a second cathode electrode 20b.例文帳に追加

プラズマ放電発生部１３はアノード電極１９と第１カソード電極２０ａと第２カソード電極２０ｂとを含む。 - 特許庁

To provide a cathode assembly used as a cathode ion source performing a function of shielding a filament from plasma inside an arc chamber.例文帳に追加

アークチェンバー内のプラズマからフィラメントをシールドする機能を果たすカソードイオン源に使用されるカソード組立体を提供する。 - 特許庁

A coaxial magnetron cathode 34 which is a kind of cold cathode is employed as a means for generating a plasma.例文帳に追加

プラズマを発生させるための手段として、一種の冷陰極である同軸マグネトロンカソード３４を採用する。 - 特許庁