plasma focusとは 意味・読み方・使い方

PLASMA PROCESSING APPARATUS, METHOD AND FOCUS RING例文帳に追加

プラズマ処理装置および方法とフォーカスリング - 特許庁

FOCUS RING AND SHIELD RING FOR PLASMA ETCHING例文帳に追加

プラズマエッチング用フォーカスリングおよびシールドリング - 特許庁

FOCUS RING FOR PLASMA ETCHING SYSTEM, AND PLASMA ETCHING SYSTEM例文帳に追加

プラズマエッチング装置用フォーカスリング及びこれを用いたプラズマエッチング装置 - 特許庁

FOCUS RING, AND PLASMA PROCESSING APPARATUS AND METHOD例文帳に追加

フォーカスリング、プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 - 特許庁

PLASMA FOCUS HIGH-ENERGY PHOTON SOURCE WITH BLAST SHIELD例文帳に追加

ブラストシールドを備えるプラズマフォーカス高エネルギフォトン源 - 特許庁

FOCUS RING FOR PLASMA ETCHING APPARATUS GENERATING FEWER PARTICLES例文帳に追加

パーティクル発生の少ないプラズマエッチング装置用フォーカスリング - 特許庁

PLASMA PROCESSING APPARATUS, FOCUS RING, AND MOUNTING APPARATUS OF WORK例文帳に追加

プラズマ処理装置、フォーカスリング及び被処理体の載置装置 - 特許庁

FOCUS RING HEATING METHOD, PLASMA ETCHING METHOD, PLASMA ETCHING APPARATUS, AND COMPUTER STORAGE MEDIUM例文帳に追加

フォーカスリングの加熱方法、プラズマエッチング方法、プラズマエッチング装置及びコンピュータ記憶媒体 - 特許庁