plasma flowsとは 意味・読み方・使い方

A plurality of through holes 2, in each of which the plasma generation gas G flows in from an opening on one end side and the activated plasma generation gas G flows out from an opening on the other end side, are formed in an insulated base material.例文帳に追加

一端側の開口からプラズマ生成用ガスＧが流入すると共に他端側の開口から活性化されたプラズマ生成用ガスＧが流出する複数の貫通孔２を絶縁基材１に形成する。 - 特許庁

The direction through which plasma from the ECR plasma source 102 flows is the normal direction of the substrate W, the angle between the normal of the surface in the target 105 and the direction through which the plasm from the ECR plasma source 102 flows is θ, and this is 60 to <90°.例文帳に追加

ＥＣＲプラズマ源１０２からのプラズマが流れる方向を基板Ｗの法線方向としており、ターゲット１０５の表面の法線と、ＥＣＲプラズマ源１０２からのプラズマが流れる方向とのなす角度がθであり、これが６０°以上９０°未満にされている。 - 特許庁

A large amount of current flows through the plasma 6 between/to electrodes to form a magnetic field, and the magnetic field thus formed compresses the cylindrical plasma 6 in the center axial direction to converge (pinch) the plasma 6 (c).例文帳に追加

すると、プラズマ６を通じて電極間に大電流が流れて磁界を形成し、この磁界が円筒状のプラズマ６を、その中心軸方向に圧縮して収束（ピンチ）する（ｃ）。 - 特許庁

When high-frequency plasma is generated in the plasma chamber, an electric field (magnetic field) is produced in the plasma chamber to generate electromotive force at a conductor part in the plasma chamber, and a high-frequency current flows because of a potential difference of the electromotive force.例文帳に追加

高周波プラズマがプラズマチャンバー内に生成されると、プラズマチャンバー内には電界（磁界）が生じて、プラズマチャンバー内の導体部分には起電力が発生し、この起電力の電位差により高周波電流が流れる。 - 特許庁

The dielectric has a flow channel 65 in which a gas G1 flows and generates plasma in the flow channel 65 under an atmospheric pressure by applying a voltage.例文帳に追加

誘電体は、ガスＧ１が流れる流路６５を有し、電圧を印加することによって、大気圧下で、流路６５にプラズマを生成する。 - 特許庁

A body to be heated from which inflow steam flows out as steam plasma is composed of a plurality of members to be heated, which is connected in an integrated manner.例文帳に追加

流入した水蒸気を水蒸気プラズマとして流出させる被加熱体を、一体に連結された複数の被加熱部材により構成する。 - 特許庁

To provide a plasma display apparatus which solves the problem of voltage drop when a current flows through electric lines.例文帳に追加

本発明は、電線を電流が流れたときの電圧降下の問題を解決したプラズマディスプレイ装置を提供することを目的とする。 - 特許庁

To provide an induction coupled plasma generator in which plasma density unevenness can be improved by properly controlling the ratio of high frequency electric current that flows in two or more of high frequency antennae outside a vacuum window.例文帳に追加

真空窓の外側の２以上の高周波アンテナに流れる高周波電流の比率を適切に制御し、プラズマ密度の不均一性を改善できる誘導結合型プラズマ発生装置を提供する。 - 特許庁