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plasma wall interactionとは 意味・読み方・使い方
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意味・対訳 プラズマ壁相互作用
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該当件数 : 1件
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A system and a method include controlling of particle composition in plasma, by controlling the interaction with electron energy distribution in plasma and a wall, at depositing a thin film on a circuit board by decomposing the source gas.例文帳に追加
原料ガスを分解して基板上に薄膜を堆積する際、プラズマ中の電子エネルギー分布や壁との相互作用を制御することによって、プラズマ中の粒子組成を制御する。 - 特許庁
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