plasma wave probeとは 意味・読み方・使い方

To provide a plasma density measuring probe that facilitates determination between surface wave resonance and the resonance excluding the surface wave resonance, and to provide a plasma density measuring device, a plasma processing device, and a plasma density measuring method.例文帳に追加

本発明は、表面波共振と表面波共振以外の共振との判別を容易に行うことができるプラズマ密度測定子、プラズマ密度測定装置、プラズマ処理装置、およびプラズマ密度測定方法を提供する。 - 特許庁

To detect directly, simply a state of plasma produced by applying a high frequency wave or a high voltage on a window type probe, a plasma monitoring apparatus, and a plasma treatment apparatus.例文帳に追加

窓型プローブ、プラズマ監視装置、及び、プラズマ処理装置に関し、高周波或いは高電圧の印加によって発生させたプラズマの状態を直接、簡便に検出する。 - 特許庁

To provide a plasma electron density measuring and monitoring device having a frequency probe in an antenna structure for analyzing plasma frequency based on an electron density as a transceiving structure of an electromagnetic wave to measure and monitor the electron density of the plasma.例文帳に追加

電子密度に基づいたプラズマの周波数を電磁波の送受信構造として分析し、プラズマの当該電子密度を測定およびモニタリングするアンテナ構造の周波数探針器を有する構造のプラズマ電子密度測定およびモニタリング装置を提供する。 - 特許庁

A discharge detection sensor 23 comprising a dielectric member 21 and a probe electrode unit 22 is attached into an opening 2a disposed in a lid 2 composing a vacuum chamber to receive a potential change caused in a probe electrode 22b depending on the change of plasma discharge by means of a wave detector, and a detecting signal is output whenever a potential change meeting a predetermined condition occurs.例文帳に追加

真空チャンバを構成する蓋部２に設けられた開口部２ａに誘電体部材２１およびプローブ電極ユニット２２を組み合わせた放電検出センサ２３を装着し、プローブ電極２２ｂにプラズマ放電の変化に応じて誘発される電位変化を波形検出部で受信し、所定の条件に合致した電位変化の出現毎に検出信号を出力する。 - 特許庁