plasma x‐ray sourceの英語

To provide a laser plasma X-ray source device capable of generating an X-ray having a wave length necessary for an LIGA process.例文帳に追加

ＬＩＧＡプロセスに必要な波長のＸ線を発生させることができるレーザープラズマＸ線源装置を提供する。 - 特許庁

To prevent damage on an optical mirror due to debris generated by a laser plasma X-ray source.例文帳に追加

レーザプラズマＸ線源で発生したデブリによる光学ミラーの損傷を防止する。 - 特許庁

In a proximity X-ray aligner employing a point source light source, a disc target 14 arranged in an X-ray light source unit is irradiated with condensed laser light 21 in order to generate plasma and X-rays 17.例文帳に追加

ポイントソース光源を用いたプロキシミティーＸ線露光装置において、Ｘ線光源ユニット内部に配置された円盤形ターゲット１４に、レーザー２１が集光、照射され、プラズマを生成し、Ｘ線１７を発生させる。 - 特許庁

To realize an X-ray generating device which also has the characteristics of short-pulse high luminance point-like light source by generating characteristic X-rays which have been used by generating them, using a conventional X-ray tube by means of a laser plasma X-ray generation device.例文帳に追加

従来Ｘ線管で発生させることにより利用されてきた特性Ｘ線をレーザープラズマＸ線発生装置で発生させることにより、レーザープラズマＸ線の短パルス高輝度点光源の特徴を併せ持つＸ線発生装置を実現する。 - 特許庁

To obtain a laser excitated X-ray source which can inhibit the adhesion of fine particles scattering from plasma, where it is easy to replace targets and which can obtain stable X-ray output.例文帳に追加

プラズマからの飛散微粒子の付着を阻止することができ、ターゲットを容易に交換できて、安定したＸ線出力を得ることができるレーザ励起型Ｘ線源を提供する。 - 特許庁

PLASMA FOCUS LIGHT SOURCE, LIGHTING DEVICE, X-RAY EXPOSURE EQUIPMENT USING THE SAME, AND MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加

プラズマフォーカス光源、照明装置及びこれらを用いたＸ線露光装置及び半導体デバイスの製造方法 - 特許庁

A laser plasma X ray source is provided with a reflector for reflecting the laser light transmitted without contributing to plasma generation so as to be returned to the plasma.例文帳に追加

プラズマ生成に寄与せず透過するレーザ光を反射させ再度プラズマに入射させる反射部材を備えるレーザプラズマＸ線源により達成される。 - 特許庁

The debris remover for preventing debris generated at the X-ray emitting point of an X-ray light source from reaching the optical system by generating plasma comprises an adsorbing section having a plane extending in parallel or substantially parallel with the optical axis of the optical system and adsorbing the debris, and a section for rotating the adsorption plane at the adsorbing section about an axis passing through the light emitting point.例文帳に追加

プラズマを発生し、Ｘ線を発生させるＸ線光源の前記Ｘ線の発光点で発生したデブリが光学系に到達することを防止するデブリ除去装置であって、前記光学系の光軸に平行もしくはほぼ平行な前記デブリを吸着する吸着面を含む吸着部と、前記発光点と前記光学系との間で、前記吸着部の吸着面を前記発光点を通る軸回りに回転させる回転部とを有するデブリ除去装置を提供する。 - 特許庁