plasma waveguideとは 意味・読み方・使い方

The plasma processing apparatus is equipped with a processing container 1, a waveguide 21, a transmitting waveguide 23, and a plurality of conductor members 29.例文帳に追加

プラズマ処理装置は、処理容器１と導波管２１と伝送導波管２３と複数の導電体部材２９とを備える。 - 特許庁

Microwaves are fed into the waveguide 21 of the plasma generating furnace 10, and the treating gas G introduced to the linear section 23b of the plasma generating tube 23 extending in the waveguide 21 is converted into a plasma by the standing waves of the microwaves formed in the waveguide 21.例文帳に追加

その後、プラズマ発生炉１０の導波管２１にマイクロ波を送り込み、導波管２１の内部に形成されるマイクロ波の定在波により、導波管２１内に延在するプラズマ発生管２３の直線部２３ｂに導入された処理ガスＧをプラズマ化させる。 - 特許庁

To provide a plasma CVD apparatus which keeps an annular waveguide at low temperature.例文帳に追加

環状導波管の温度を低温に維持するようにしたプラズマＣＶＤ装置を提供すること。 - 特許庁

The optical waveguide comprising a first optical waveguide 9A made of plasma silicon nitride and a second optical waveguide 9B made of polyimide is provided on a light reception area of a photo diode 1.例文帳に追加

フォトダイオード１の受光領域上にプラズマ窒化シリコンよりなる第１光導波部９Ａとポリイミドよりなる第２光導波部９Ｂで構成した光導波路を設ける。 - 特許庁

The microwave entering the waveguide dielectric 3 becomes a cut-off state in the vicinity of a place where the sectional size of the waveguide dielectric becomes the cut-off sectional size and is absorbed to generate plasma.例文帳に追加

導波誘電体３に入ったマイクロ波は、カットオフ断面サイズとなった付近で、カットオフ状態となり吸収され、プラズマが生成される。 - 特許庁

NON-TERMINATED ANNULAR WAVEGUIDE WITH CIRCULAR SLOT AND PLASMA TREATMENT DEVICE AND METHOD USING IT例文帳に追加

円弧状スロット付無終端環状導波管、及びそれを用いたプラズマ処理装置及び処理方法 - 特許庁

To manufacture an optical waveguide wherein propagation loss is reduced by recovering oxygen deficiency in vacuum plasma.例文帳に追加

真空プラズマ中での酸素欠損を回復させ、伝播損失の少ない光導波路を製造する。 - 特許庁

To provide an atmospheric-pressure plasma generating apparatus in which uniform line plasma is generated using a long waveguide and uniform processing can be performed to a workpiece.例文帳に追加

長尺な導波管を用いて均一なラインプラズマを生成し、被処理体に対し均一な処理が可能な大気圧方式のプラズマ生成装置を提供する。 - 特許庁