plume structureとは 意味・読み方・使い方

To provide a thin film deposition method and a deposition system therefor where the yield of a plume can be improved by effectively using the plume without any waste, further, even in the case an oxide superconductive thin film with a stacked structure is obtained, a film deposition process can be reduced, and the reduction of the production cost can be attained.例文帳に追加

プルームを無駄なく効果的に使用することで、プルームの収率を向上させることができ、しかも、積層構造の酸化物超電導体薄膜を得る場合においても、成膜工程を短縮することができ、製造コストの低減を図ることができる薄膜の形成方法及び形成装置を提供する。 - 特許庁