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SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS, METHOD OF DETERMINING ITS PREMAINTENANCE CYCLE, AND ITS PREMAINTENANCE METHOD例文帳に追加
半導体製造装置、半導体製造装置のプリメンテナンス周期決定方法、及び、半導体製造装置のプリメンテナンス方法 - 特許庁
To properly establish a premaintenance cycle before feeding a semiconductor manufacturing apparatus into a production line in the semiconductor manufacturing apparatus, and to provide a method of determining a premaintenance cycle and a premaintenance method of the semiconductor manufacturing apparatus.例文帳に追加
半導体製造装置、半導体製造装置のプリメンテナンス周期決定方法、及び、半導体装置のプリメンテナンス方法に関し、半導体製造装置を製造ラインに投入する前に、プリメンテナンス周期を適正に設定する。 - 特許庁
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