radiant heating of low temperatureとは 意味・読み方・使い方

To provide a heat treatment apparatus which suppresses a reduction in the heating efficiency of a silicon wafer, even when using the temperature of a radiant heating source as an intermediate temperature range from a low temperature range.例文帳に追加

輻射加熱源の温度を低温域から中温域として使用しても、シリコンウエハの加熱効率の低下を抑制することが可能な熱処理装置を提供すること。 - 特許庁

Since the fin touches the radiation plate through the resiliency of the bend 13, air will not leak from the joint of the fins, even if the assembling accuracy of the fins is low, and since thermal expansion of the fin is absorbed by resiliency of the bend, radiant quantities or heating capacity will not be lowered, even if the fins has a high temperature resulting in high efficiency heating.例文帳に追加

また、フィンは、折曲部１３の弾性力で輻射板に接触するので、フィンの組立精度が低くてもフィンのつなぎ目から空気が漏れる事はなく、フィンの熱膨張も折曲部の弾性力で吸収され、フィンが高温になっても輻射量や暖房能力の低下が無い高効率の暖房を実現できる。 - 特許庁