radio-frequency reactorとは 意味・読み方・使い方

The radio frequency generator 400 supplies radio frequency power for plasma generation to the plasma reactor 300, wherein upon power interruption within a predetermined time while the plasma reactor 300 is in operation, the radio frequency generator 400 re-supplies the radio frequency power, without discontinuing the operation of the plasma reactor, after power returns.例文帳に追加

周波数発生器４００はプラズマ反応器３００にプラズマ発生のための無線周波数電力を提供し、プラズマ反応器３００の動作中に発生する所定の時間内の電源遮断に対して、電源復帰後にプラズマ反応器が動作を中断することなく無線周波数電力を再び供給する。 - 特許庁

For feeding a high density induction coupling high frequency plasma source, a radio-frequency antenna 34 having the edge on the side of the substrate is positioned in the vicinity of the reactor chamber and is connected to a 2nd radio-frequency signal source 38 via an impedance matching apparatus.例文帳に追加

高密度誘導結合高周波プラズマ源を供給するために、基板側の端を有する無線周波数アンテナは、リアクタ室周辺に位置しインピーダンス整合器を介して第二の無線周波数信号源に接続されている。 - 特許庁

The plasma processing system 200 comprises the plasma reactor 300 for generating plasma as receiving an input gas and a frequency generator 400 for supplying radio frequency.例文帳に追加

プラズマ処理システム２００は、入力ガスが供給されてプラズマを発生するプラズマ反応器３００と、無線周波数を供給するための周波数発生器４００を備える。 - 特許庁