redepositsとは 意味・読み方・使い方

To prevent such a reaction of tantalum on oxygen generated when dry-etching a tantalum film or the alloy and oxide films thereof under the situation of generating oxygen that a tantalum oxide redeposits on the sidewall of the etched film.例文帳に追加

タンタル膜又はその合金膜や酸化膜を酸素が発生する状況下でドライエッチングするとタンタルと酸素が反応し、タンタル酸化物が被エッチング膜の側壁に再付着することを防止する。 - 特許庁

Since a soluble layer 2 which continuously covers the circumference of a two-layer resist pattern 5 and the whole body of a first thin film 17Z in an area other than the area covered by the two-layer resist pattern 5 is formed, the mold damage of the resist pattern 5 can be suppressed at the time of performing dry etching and the depositing amount of redeposits 9 can also be reduced.例文帳に追加

２層レジストパターン５の周囲と、この２層レジストパターン５によって覆われた領域以外の領域における第１の薄膜１７Ｚとの全体を連続的に覆う可溶層２を形成するので、ドライエッチング時に２層レジストパターン５の型くずれを抑制でき、再付着物９の付着量も低減できる。 - 特許庁