reductive radicalとは 意味・読み方・使い方

A high frequency voltage is applied at the electrode extracting an ion beam from a plasma in a plasma chamber and a reductive gas is introduced into the vicinity of the electrode to form a plasma and a radical of the reductive gas at the vicinity of the electrode by the high frequency voltage and to remove a film adhered to the electrode by the reducing action of the plasma and the radical.例文帳に追加

本発明は、プラズマ室内のプラズマからイオンビームを引き出す電極に高周波電圧を印加すると共に、該電極近傍に還元性ガスを導入し、前記高周波電圧によって前記電極近傍に前記還元性ガスのプラズマ及びラジカルを生成し、該プラズマ及びラジカルの還元作用によって前記電極に付着している被膜を除去することを特徴とする。 - 特許庁