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remote plasmaとは 意味・読み方・使い方
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「remote plasma」の部分一致の例文検索結果
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BATCH-TYPE REMOTE PLASMA PROCESSING APPARATUS例文帳に追加
バッチ式リモートプラズマ処理装置 - 特許庁
REMOTE PLASMA-CLEANING METHOD OF HIGH-DENSITY PLASMA CVD SYSTEM例文帳に追加
高密度プラズマＣＶＤ装置のリモートプラズマクリーニング方法 - 特許庁
CLEANING OF SULFUR HEXAFLUORIDE REMOTE PLASMA SOURCE例文帳に追加
六フッ化硫黄リモートプラズマ源洗浄 - 特許庁
PLASMA GENERATOR, PLASMA GENERATING METHOD, AND REMOTE PLASMA TREATMENT APPARATUS例文帳に追加
プラズマ発生装置およびプラズマ発生方法ならびにリモートプラズマ処理装置 - 特許庁
CLEANING EQUIPMENT OF DEPOSITION CHAMBER USING REMOTE PLASMA例文帳に追加
リモートプラズマによる堆積チャンバーのクリーニング装置 - 特許庁
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