rps-22とは 意味・読み方・使い方

Phase shift reticles Rps having test patterns PA1 to PA4 including a phase shifter for changing a phase of a transmitted illumination light are disposed on a surface of an object of the projection optical system 22 so as to be substantially perpendicular to an optical axis of the light from an illumination optical system 11.例文帳に追加

投影光学系２２の物体面に、透過する照明光の位相を変化させる位相シフト部が設けられたテストパターンＰＡ１〜ＰＡ４を有する位相シフトレチクルＲｐｓを、照明光学系１１からの照明光の光軸に対してほぼ直交するように配置する。 - 特許庁