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To disclose a bubbler design, having two chambers to use the solid organometallic supply source materials of chemical vapor deposition system and a method for transporting a carrier gas saturated by source materials for transmission into such a system.例文帳に追加
化学蒸着系の固体有機金属供給源物質を用いる２つのチャンバーを有するバブラーデザイン、およびこのような系中に送達するためのソース材料で飽和したキャリアガスの輸送法を開示する。 - 特許庁
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