self-alignment technologyとは 意味・読み方・使い方

To provide a method of manufacturing a semiconductor device, intended to perform a channel implant process of a transistor to be provided in a DRAM by means of the self-alignment technology without entailing a faulty alignment to enable improving of a reflash characteristic.例文帳に追加

本発明はＤＲＡＭに備えられるトランジスタのチャネルインプラント工程を誤整列なしで自己整列的に実施してリフラッシュ特性を向上させることができる半導体素子の製造方法に関するものである。 - 特許庁

After a metal plug is formed in a contact hole of an insulating film, a selection CVD technology is used to grow a tungsten film in a self alignment manner with the metal plug to form a landing pad for each of the metal plugs.例文帳に追加

絶縁膜のコンタクト孔内に金属プラグを形成した後に、選択ＣＶＤ技術を用いて、タングステン膜を金属プラグと自己整合的に成長することにより、金属プラグに対応してランディングパッドを形成する。 - 特許庁