semiconductor process modelingとは 意味・読み方・使い方

METHOD FOR SEMICONDUCTOR PROCESS DEVICE MODELING例文帳に追加

半導体プロセスデバイスモデリング方法 - 特許庁

To provide a semiconductor process control device, which realizes a stable semiconductor process, by a method wherein a cause of variation in a device structure is detected before the device is manufactured in pilot modeling.例文帳に追加

デバイス構造変動原因を試作を行う前に検知し、安定した半導体プロセスを実現する半導体プロセス制御装置を提供する。 - 特許庁

To provide a modeling apparatus that can easily make a model of correlation between process data and result data in a semiconductor manufacturing process.例文帳に追加

半導体製造プロセスにおけるプロセスデータと結果データの相関関係のモデルを容易にモデル化することができるモデル化装置を提供すること - 特許庁

MODELING METHOD OF PATTERN, FILM THICKNESS MEASURING METHOD, PROCESS STATE JUDGING METHOD, THICKNESS MEASURING EQUIPMENT, PROCESS STATE JUDGING EQUIPMENT, GRINDING EQUIPMENT AND MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加

パターンのモデル化方法、膜厚測定方法、工程状態判定方法、膜厚測定装置、工程状態判定装置、研磨装置、及び半導体デバイスの製造方法 - 特許庁

By this setup, a usual system for manufacturing semiconductor requires a process of previously modeling a correlation between process parameters and device characteristics so as to optimize process specifications, but this manufacturing system does not require the above process, so that semiconductor products of high quality can be stably manufactured with high yield from the start of a manufacturing process through this manufacturing system.例文帳に追加

これにより、従来までの半導体製造システムのように、工程規格値を最適化するためにプロセスパラメータとデバイス特性の相関関係を予めモデル化しておく必要がなくなるので、製造プロセスの立ち上げ時においても高品質の半導体製品を歩留まりよく安定的に製造することができる。 - 特許庁