single wafer transfer systemとは 意味・読み方・使い方

To improve throughput by improving flexibility in layout management of substrates to be treated and transfer efficiency in a single wafer processing system for simultaneously performing a predetermined treatment for a plurality of substrates to be treated in a plurality of processing chambers which are provided in multi stages.例文帳に追加

多段に配置された複数の処理室内で複数の被処理基板に所定の処理を同時に施す枚葉方式において被処理基板配置管理のフレキシビリティや搬送効率を向上させ、スループットの改善をはかること。 - 特許庁

To provide a relay station which can build up a substrate processing system, which responds to a single-wafer transfer without making a major modification to a substrate processing system which has been conventionally used, and to provide the substrate processing system that uses the relay station.例文帳に追加

従来から使用されている基板処理装置に大幅な改造を施すことなく、枚葉搬送に対応した基板処理システムを構築することのできる中継ステーション及び中継ステーションを用いた基板処理システムを提供する。 - 特許庁