single wafer processingとは 意味・読み方・使い方

MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL WAFER AND LASER PROCESSING APPARATUS THEREFOR例文帳に追加

半導体単結晶ウエハの製造方法とそのためのレーザ加工装置 - 特許庁

More particularly, the deposition of the polysilicon film is performed by single-wafer processing.例文帳に追加

特に、ポリシリコン膜の成膜は、枚葉処理によって行われる。 - 特許庁

To provide a single-wafer processing system in which losses are minimized.例文帳に追加

損失を最小にする単一ウエーハ処理装置を提供する。 - 特許庁

SINGLE WAFER PROCESSING WET TREATING APPARATUS AND METHOD THEREOF例文帳に追加

枚葉型のウエット処理装置及びそのウエット処理方法 - 特許庁

The silicon wafer 62 has a cup-like warpage where the central part of a thin disc wafer is recessed by single-wafer processing etching.例文帳に追加

シリコンウェーハ６２は、薄円板状のウェーハを枚葉式エッチングにより中央部が凹んだお椀状の反りが付与されたものである。 - 特許庁

To provide a wafer washing method of single wafer processing which can effectively remove a cleaning liquid dropped on the periphery of wafer.例文帳に追加

枚葉式のウエハ洗浄方法であって、ウエハの周辺部に滴下した洗浄液を効果的に除去する。 - 特許庁

To uniformly strip a resist on a wafer surface, while keeping the wafer temp. uniform at a low temp. in a single-wafer processing plasma ashing developing apparatus.例文帳に追加

枚葉式プラズマアッシング現像装置において、低温で均一にウェハ１０の温度を保ちウェハ面のレジストを一様に剥離する。 - 特許庁

Single wafer processing type substrate processing equipment comprises a liquid supply means, a gas supply means, and a drying means.例文帳に追加

枚葉式の基板処理装置は、液体供給手段と、気体供給手段と、乾燥手段とを備える。 - 特許庁