subcontactとは 意味・読み方・使い方

A subcontact 42 is formed simultaneously with a W plug 44 by filling each contact hole with W.例文帳に追加

その後、各コンタクトホールをＷで埋め込むことにより、Ｗプラグ４４と同時にサブコンタクト４２を形成する。 - 特許庁

After the padding SiO_2 24 is etched halfway by wet etching, a contact hole for lead-out electrode on a transistor 28 is formed and, at the same time, a contact hole 40 for subcontact is formed to penetrate up to the SiO_2 film layer 14 on the SOI substrate.例文帳に追加

ウェットエッチングにより埋め込みＳｉＯ_２２４を途中までエッチングした後、トランジスタ２８上の引き出し電極用コンタクトホールを形成すると同時に、ＳＯＩ基板のＳｉＯ_２膜層１４まで貫通するサブコンタクト用のコンタクトホール４０を形成する。 - 特許庁

On an SOI substrate consisting of an upper layer Si substrate 12, an SiO_2 film layer 14, and a lower layer Si substrate 16, an insulating film for device isolation composed of an SiO_2 film 22 and a Poly-Si 26 is formed and, at the same time, a hole for subcontact filled with padding SiO_2 24 is formed thereon.例文帳に追加

上層Ｓｉ基板１２、ＳｉＯ_２膜層１４、下層Ｓｉ基板１６からなるＳＯＩ基板にＳｉＯ_２膜２２およびＰｏｌｙ−Ｓｉ２６からなる素子分離用絶縁膜を形成すると同時に埋め込みＳｉＯ_２２４を埋め込んだサブコンタクト用のホールを形成する。 - 特許庁