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sublimationalとは 意味・読み方・使い方
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To introduce exhaust gas for processing exhaust gas from a dry etching system, containing a sublimational substance into an exhaust gas processing system, without depositing the sublimational substance in the exhaust gas passage.例文帳に追加
ドライエッチング装置から排出される昇華性物質を含む排ガスを、昇華性物質を排ガス通路内に析出させることなく、この排ガスを処理するための排ガス処理装置に導入する。 - 特許庁
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