titanium-47とは 意味・読み方・使い方

A base titanium nitride film 47 is etched, and then a BST film 58 which is capacitor insulating film is piled without removing the silicon oxide film 52.例文帳に追加

下地の窒化チタン膜４７をさらにエッチングした後、シリコン酸化膜５２を除去することなく、容量絶縁膜となるＢＳＴ膜５８を堆積する。 - 特許庁

This semiconductor device is provided with a contact hole 47, inside which a boundary between diffusion layers 41 and 42 and an element isolation region 12 is exposed, and a high melting-point metal layer (a titanium film 48) for covering the surface of a silicon substrate 11 exposed inside the contact hole 47 is formed into a thickness of 5 nm-11 nm.例文帳に追加

拡散層４１，４２と素子分離領域１２との境界が内部に露出する接続孔（コンタクトホール４７）を備えた半導体装置において、コンタクトホール４７の内面に露出するシリコン基板１１表面を被覆する高融点金属層（チタン膜４８）が５ｎｍ以上１１ｎｍ以下の膜厚に形成されているものである。 - 特許庁

In this cup-shaped undulate gear device 1, a component composed of a hub 41 and a rigid cam plate 42 forming the wave generator 4 are made of titanium alloy, both side faces 45, 46 of the component are provided with projecting and recessed radiation fins 45a, 46a, and further a copper plating film 47 of high heat conductivity is formed on a surface of the component.例文帳に追加

コップ型の波動歯車装置１では、その波動発生器４を構成しているハブ４１および剛性カム板４２からなる部品がチタン合金から形成され、当該部品の両側面４５、４６には凹凸状の放熱フィン４５ａ、４６ａが形成され、さらに、当該部品の表面には熱伝導率の高い銅のめっき皮膜４７が形成されている。 - 特許庁