transfer chamberとは 意味・読み方・使い方

In the semiconductor workpiece processing system including the loadlock chamber, the transfer chamber and one or more processing chambers, the transfer chamber provided with a transfer device is positioned between the loadlock chamber and the processing chamber provided so as to surround the transfer chamber.例文帳に追加

ロードロック室と、移載室と、一つ或いは複数の処理チャンバとを含む半導体ワークピース処理システムにおいて、移載装置を備える移載室が、ロードロック室と移載室を囲んで設けられている処理チャンバとの間に位置する。 - 特許庁

The transfer chamber 21 has a weighing device 25 for weighing the product inside the transfer chamber 21.例文帳に追加

輸送室２１は、輸送室２１内の製品を秤量する秤量デバイス２５を有している。 - 特許庁

SEALING STRUCTURE OF FLUID CHAMBER OF LIQUID TRANSFER PUMP例文帳に追加

流体移送ポンプの流体室のシール構造 - 特許庁

In another embodiment, the chamber is one of a chemical vapor deposition chamber, a load lock chamber, a metrology chamber, a thermal processing chamber, or a physical vapor deposition chamber, a load lock chamber, a substrate transfer chamber or a vacuum chamber.例文帳に追加

他の実施形態において、チャンバは、化学気相成長チャンバ、ロードロックチャンバ、計測チャンバ、熱処理チャンバ、又は物理気相成長チャンバ、ロードロックチャンバ、基板搬送チャンバ、又は真空チャンバの１つである。 - 特許庁

A dust transfer chamber communicated with an upper side of the storing chamber via a communication port 61 is provided and both of the storing chamber and the dust transfer chamber are partitioned by a dust receiving shelf 62.例文帳に追加

前記収容室の上側に連通口61を介して連通する塵移送室を設け、前記両室を塵受け棚62で仕切る。 - 特許庁

Around a transfer chamber 61, an etching chamber 62, an anneal chamber 63, a first film forming chamber, a second film forming chamber 65, etc., are arranged.例文帳に追加

トランスファチャンバ６１の周囲には、エッチングチャンバ６２、アニールチャンバ６３、第１成膜チャンバ、第２成膜チャンバ６５などが配設されている。 - 特許庁

The vacuum transfer device is provided with a vacuum transfer chamber 20 connected to a depositing chamber 30.例文帳に追加

本発明の真空搬送装置は、成膜室３０に連結された真空搬送室２０を有する。 - 特許庁

A substrate processing apparatus includes: a transfer chamber in which substrates are transferred under negative pressure; processing chambers connecting to the transfer chamber and in which heating treatment is performed on the substrates; a transfer robot provided in the transfer chamber and transferring the substrates to the inside or outside of each processing chamber, and a cooling part cooling an inner wall of the transfer chamber.例文帳に追加

負圧下で基板が搬送される搬送室と、搬送室に接続され基板に加熱処理を施す処理室と、搬送室内に設けられ処理室内外へ基板を搬送する搬送ロボットと、搬送室の内壁を冷却する冷却部と、を備える。 - 特許庁