turnover processとは 意味・読み方・使い方

When the turnover action and the drying process of the substrate W are terminated, the main transport robot unloads the substrate W from the first turn over unit 23.例文帳に追加

基板Ｗの反転動作及び乾燥処理が終了すると、メイン搬送ロボットは第１反転ユニット２３から基板Ｗを搬出する。 - 特許庁

To provide a high resolution/high opening rate active matrix type organic electroluminescent element in which a production turnover is improved, and its manufacturing process.例文帳に追加

生産収率が向上された高解像度／高開口率構造アクティブマトリックス型有機電界発光素子及びその製造方法を提供する。 - 特許庁

The single wafer substrate cleaning facility is provided with a substrate turnover device for cleaning the backside of the substrate in a process chamber.例文帳に追加

本発明による枚葉式基板洗浄設備は、工程チャンバ内に基板の裏面を洗浄するための基板反転装置が設けられることを特徴とする。 - 特許庁