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To monitor a mass flow controller (MFC) connected to a pressure chamber to be properly operated in order to supply gas to the pressure chamber at an unpumped state.例文帳に追加
ポンプされていない状態にある圧力チャンバにガスを供給するために圧力チャンバに接続されたマスフローコントローラー（ＭＦＣ）を監視し、適切に機能させる。 - 特許庁
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