upright spinとは 意味・読み方・使い方

A substrate W is horizontally retained by a chuck pin 14 set upright on a spin base 10, and an atmosphere shut-off plate 30 is mounted above the spin base 10.例文帳に追加

基板Ｗはスピンベース１０上に立設されたチャックピン１４によって水平姿勢にて保持されている。 - 特許庁

Even if the atmosphere shielding part approaches the spin base, the upside pinching pin and the downside pinching pin are stood upright at a position of not interfering with each other, and they can independently pinch and release the substrate, respectively.例文帳に追加

基板処理装置において、基板の上面に対向する雰囲気遮蔽部に基板を固定させることができる上側挟持ピンと、基板の下面に対向するスピンベースに基板を固定させることができる下側挟持ピンとを備える。 - 特許庁