「"しらふね"」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

高感度を有し、ラフネスが改善され、ＰＢＤ安定性及びマーク検出適正に優れた電子線又はＸ線用ネガ型レジスト組成物を提供する。例文帳に追加

To provide a negative resist composition for an electron beam or X-ray having high sensitivity, ensuring improved roughness and excellent in PBD stability and correctitude of mark detection. - 特許庁

壁面を平滑化しラフネスを低減したレジストパターンを用いて高精細なパターニングを可能とした半導体装置の製造方法等の提供。例文帳に追加

To provide a method or the like for manufacturing a semiconductor device which enables high precision patterning by using a resist pattern, whose wall surfaces are smoothened to reduce its roughness. - 特許庁

ＥＢ（電子線）又はＥＵＶ（極紫外線）に有効に感応し、ラフネス、エッチング耐性、及び感度に優れ、高精度な微細パターンを安定して形成することのできる化学増幅型のネガ型レジスト膜を成膜可能な感放射線性樹脂組成物を提供すること。例文帳に追加

To provide a radiation-sensitive resin composition capable of forming a chemically amplified negative resist film, which composition is effectively sensitive to EB (electron beam) or EUV (extreme ultraviolet radiation) and excellent in roughness, etching resistance, and sensitivity and which composition stably forms a highly precise fine pattern. - 特許庁