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"エッチ率"を含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
これらのエッチング剤を用いることにより飛躍的にプロセスウインドウを広げることができ、特殊な基板の励起操作等なしにサイドエッチ率が小さく高アスペクト比が要求される加工にも対応できる。例文帳に追加
Process window can be expanded dramatically by using these etching agents, and such processing as requiring a low side etching rate and a high aspect ratio can be accommodated without relying upon a special excitation operation of a substrate, or the like. - 特許庁
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