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"Formation Evaluation"を含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
The method comprises steps of evaluating (S4) image formation performances of an assembled projection optical system, and carrying out optical adjustment (S6) of at least one of the plurality of crystalline permeable members by having it turned about an optical axis based on the evaluation of the image formation evaluation step.例文帳に追加
組み立てられた投影光学系の結像性能を評価する結像性能評価工程（Ｓ４）と、結像性能評価工程の評価結果に基づいて、複数の結晶透過部材のうちの少なくとも１つの結晶透過部材を光軸廻りに回転させて光学調整を行う光学調整工程（Ｓ６）とを含む。 - 特許庁
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