「"chlorine fluoride"」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

METHOD FOR PRODUCING NF3 OR CHLORINE FLUORIDE COMPOUND例文帳に追加

ＮＦ３又は塩化フッ素化合物の製造方法 - 特許庁

Since reactivity with chlorine fluoride gas is restricted, it is possible to make to react with the chlorine fluoride gas at high temperatures without damaging a member, and it becomes possible to eliminate a deposit or an extraneous matter with high utility factor and efficiently.例文帳に追加

フッ化塩素ガスとの反応性が抑制されるので、部材を損傷することなく高温でフッ化塩素ガスと反応させることができ、効率よく能率的に堆積物や付着物の除去が可能となる。 - 特許庁

The mixed gas is led to a heated reactor 44, for example, a heat exchanger, to generate a generated gas containing chlorine fluoride gases such as ClF3 and the like by the reaction between the chlorine gas and the fluorine gas.例文帳に追加

混合ガスは、加熱反応器４４例えば熱交換器に通され、塩素ガスとフッ素ガスとの反応によりＣｌＦ_3 ガス等の弗化塩素ガスを含む生成ガスが生成される。 - 特許庁

The apparatus 30 for forming and supplying the gaseous fluorine disposed in the gas supply system 20 of the semiconductor treating system includes an electrolytic cell 34 for forming the gaseous fluorine and a cylinder 62 for storing the substitute gas selected from the group consisting of nitrogen fluoride, sulfur fluoride and chlorine fluoride.例文帳に追加

半導体処理システムのガス供給系２０に配設されたガス生成及び供給装置３０は、フッ素ガスを生成する電解槽３４と、フッ化窒素、フッ化イオウ、フッ化塩素からなる群から選択された代替ガスを貯蔵するボンベ６２とを含む。 - 特許庁