例文 (2件) |
サイツを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 2件
インサイツ重合によるエラストマーの動的加硫例文帳に追加
DYNAMIC VULCANIZATION OF ELASTOMER BY IN-SITU POLYMERIZATION - 特許庁
SEG法によって形成されたコンタクトプラグの不純物濃度減少による抵抗の増加を防止するために、コンタクトプラグをSEG法によって形成する途中と形成後に、インサイツ(in-situ)でリンPなどの不純物をサーマルドーピング(Thermal Doping)して不純物濃度を増加させることにより、抵抗を減少させて素子の電気的特性を向上させることができる半導体素子のコンタクトプラグ形成方法を提供すること。例文帳に追加
To provide a contact plug forming method of a semiconductor element, which thermally dopes the impurity of phosphorus P in-situ during the formation of a contact plug by an SEG method and after formation, and increases impurity concentration for preventing the increase in the resistance due to the reduction in the impurity concentration of the contact plug formed by the SEG method. - 特許庁
例文 (2件) |
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