例文 (3件) |
四弗化炭素の部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 3件
ガス種として四弗化炭素(CF_4)および酸素(O_2)の混合ガスを用いる。例文帳に追加
The mixed gas of carbon tetrafluoride (CF4) and oxygen (O2) is used as gas species. - 特許庁
第4ステップにて、100%の四弗化炭素(CF_4、フロン14)によるガスエッチングにより窒化シリコン層に微細ピットを形成する。例文帳に追加
The detailed pits are formed on the nitride silicon layer through vapor etching by 100% of chlorofluocarbon (CF_4. flon 14) in a fourth step. - 特許庁
四弗化エチレンとエチレンを混合した原料ガスを導入部6から排気量調整バルブ3、RF電極4、基板載置台7を備えた反応室1内にシャワー状に導入し、プラズマCVD法により、被処理基板8上に弗化アモルファス炭素膜を形成する。例文帳に追加
A raw material gas, made by mixing tetrafluoroethylene and ethylene, is introduced in a form of shower from an inlet part 6 into a reaction chamber 1, having a valve 3 for adjusting the quantity of exhaust gas, an RF electrode 4, and a base 7 on which a substrate is placed, to form an amorphous carbon fluoride film by a plasma CVD method. - 特許庁
例文 (3件) |
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