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準同時変形の部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
温度変動などに起因する基準マーク板の変形を良好に抑えて、高精度な同時ベースライン計測を行うことのできる露光装置。例文帳に追加
To provide an aligner which can appropriately suppress the deformation of a reference mark plate due to a change in temperature and accurately measure a base line, at the same time. - 特許庁
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