例文 (5件) |
研摩ベルトの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 5件
ベルト側面研摩方法およびベルト側面研摩装置例文帳に追加
BELT SIDE SURFACE POLISHING METHOD AND DEVICE - 特許庁
半導体ウエハの平面化の均一性を改良するため、研摩パッド/ベルトの選択的な加熱を使用した、化学機械研摩(CMP)装置及び方法を提供する。例文帳に追加
To provide chemical-mechanical polishing(CMP) equipment and its method, which use selective heating of a polishing pad/a belt in order to improve uniformity of planarizing a semiconductor wafer. - 特許庁
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