Cosを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 252件
A rotation angle device calculates tan θ from a cos θ signal and a sin θ signal, obtained by filtering the double frequency modulated components of the signal output by the resolver, in response to the rotation angle θ of the output shaft of the motor by the low-pass filters 55, 57, and retrieves the rotation angle θ by applying the value of the tan θ to a tan θ to θ conversion map 59.例文帳に追加
回転角検出装置は、モータの出力軸の回転角θに応じてレゾルバが出力する信号の倍調成分をローパスフィルタ55,57で濾波したcosθ信号およびsinθ信号からtanθを算出し、tanθの値をtanθ→θ変換マップ59に適用して回転角θを検索する。 - 特許庁
The etching method includes the steps of forming the antireflective film (Si-ARC film) on an etched layer, forming the resist film (ArF resist film) patterned on the antireflective film, and etching the antireflective film with an etching gas containing CF_4 gas, COS gas and O_2 gas using the resist film as the mask to form a desired pattern on the antireflective film.例文帳に追加
被エッチング層上に反射防止膜(Si−ARC膜)を形成する工程と、前記反射防止膜上にパターン化されたレジスト膜(ArFレジスト膜)を形成する工程と、前記レジスト膜をマスクとして、CF_4ガスとCOSガスとO_2ガスとを含むエッチングガスを用いて前記反射防止膜をエッチングすることにより、前記反射防止膜に所望のパターンを形成する工程と、を含むことを特徴とするエッチング方法が提供される。 - 特許庁
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