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Il-96の部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
Illumination light IL passing through the slit 122 during scanning is received by an optical sensor 24 through a light derivation part in the wafer stage WST, a mirror 96 and a light reception lens 89, and a photoelectric conversion signal P is supplied to a main controller.例文帳に追加
この走査中に、スリット１２２を通過する照明光ＩＬが、ウエハステージＷＳＴ内の光導出部、ミラー９６、受光レンズ８９を介して光センサ２４で受光され、その光電変換信号Ｐが主制御装置に供給される。 - 特許庁
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