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RCATを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
To provide a method of manufacturing a semiconductor element having a recessed channel region which can prevent generation of moats, when a hard mask oxide film is removed in an RCAT (Recessed Channel Array Transistor) step.例文帳に追加
本発明は、ＲＣＡＴ工程の際、ハードマスク酸化膜を除去する時にモートの発生を防止することができるリセスチャネル領域を備えた半導体素子の製造方法を提供すること。 - 特許庁
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