alignerを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 2856件
CONNECTION DEVICE, ALIGNER AND METHOD FOR ADJUSTING OPTICAL AXIS OF THE ALIGNER例文帳に追加
接続装置、露光装置、及び、その露光装置の光軸調整方法 - 特許庁
ALIGNER, METHOD FOR ADJUSTING THE ALIGNER AND METHOD FOR MANUFACTURING MICRO-DEVICE例文帳に追加
露光装置,露光装置の調整方法,マイクロデバイスの製造方法 - 特許庁
CALIBRATION METHOD OF CHARGED BEAM ALIGNER AND THE CHARGED BEAM ALIGNER例文帳に追加
荷電ビーム露光装置の較正方法及び荷電ビーム露光装置 - 特許庁
ALIGNER, CONTROL METHOD AND MANUFACTURING METHOD OF THE ALIGNER例文帳に追加
露光装置及びその制御方法並びにデバイスの製造方法 - 特許庁
ALIGNER EVALUATION SYSTEM, ALIGNER EVALUATION METHOD, ALIGNER EVALUATION PROGRAM, AND MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加
露光装置判定システム、露光装置判定方法、露光装置判定プログラム及び半導体装置の製造方法 - 特許庁
METHOD FOR MANUFACTURING ALIGNER AND SEMICONDUCTOR DEVICE, SEMICONDUCTOR MANUFACTURING PLANT AND METHOD FOR MAINTAINING ALIGNER例文帳に追加
露光装置及び半導体デバイスを製造する方法、半導体製造工場、露光装置の保守方法 - 特許庁
INTERFEROMETER, ALIGNER, METHOD OF MANUFACTURING MICRODEVICE, MEASURING APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING ALIGNER例文帳に追加
干渉計、露光装置、マイクロデバイスの製造方法、計測装置及び露光装置の製造方法 - 特許庁
ALIGNER, METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE, SEMICONDUCTOR MANUFACTURING PLANT, AND METHOD OF MAINTAINING ALIGNER例文帳に追加
露光装置、半導体デバイス製造方法、半導体製造工場、および露光装置の保守方法 - 特許庁
METHOD FOR MANUFACTURING ALIGNER LIGHT SOURCE UNIT, ALIGNER, EXPOSURE METHOD AND ADJUSTING METHOD FOR SAME例文帳に追加
露光装置の製造方法、光源ユニット、露光装置、露光方法及び露光装置の調整方法 - 特許庁
ALIGNER, DEVICE-MANUFACTURING METHOD, SEMICONDUCTOR MANUFACTURING PLANT AND MAINTENANCE METHOD OF THE ALIGNER例文帳に追加
露光装置、デバイス製造方法、半導体製造工場および露光装置の保守方法 - 特許庁
ALIGNER, ALIGNER MANUFACTURING METHOD, WAVE FRONT ABERRATION MEASURING APPARATUS AND MICRODEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
露光装置、露光装置の製造方法、波面収差計測装置及びマイクロデバイスの製造方法 - 特許庁
ALIGNER, METHOD OF MANUFACTURING DEVICE, SEMICONDUCTOR MANUFACTURING PLANT, AND METHOD FOR MAINTAINING ALIGNER例文帳に追加
露光装置、デバイス製造方法、半導体製造工場および露光装置の保守方法 - 特許庁
EXPOSURE METHOD, ALIGNER, AND SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURED USING THE ALIGNER例文帳に追加
露光方法、露光装置およびその露光装置を用いて製造された半導体装置 - 特許庁
ALIGNER SYSTEM, ALIGNER, AND APPARATUS METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR例文帳に追加
露光装置システム、露光装置、半導体製造装置および半導体製造方法 - 特許庁
ALIGNER, METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE, AND METHOD FOR MEASURING ACCURACY IN ALIGNER例文帳に追加
露光装置、デバイスの製造方法および露光装置における精度測定方法 - 特許庁
DETECTOR AND METHOD FOR DETECTING FACE POSITION, ALIGNER, AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICES USING THE ALIGNER例文帳に追加
面位置検出装置及び方法並びに露光装置と該露光装置を用いたデバイスの製造方法 - 特許庁
EXPOSURE METHOD AND ALIGNER, STAGE MODULE, METHOD OF MANUFACTURING THE ALIGNER, AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
露光方法及び装置、ステージモジュール、露光装置の製造方法、並びにデバイス製造方法 - 特許庁
REFLECTOR FOR ALIGNER, ALIGNER, AND SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURED BY USING THE SAME例文帳に追加
露光装置用反射鏡および露光装置ならびに、それらを用いて製造される半導体デバイス - 特許庁
PHOTODETECTOR, ALIGNER, DEVICE MANUFACTURING METHOD, SEMICONDUCTOR PRODUCING FACTORY AND MAINTENANCE METHOD FOR THE ALIGNER例文帳に追加
光検出装置、露光装置、デバイス製造方法、半導体製造工場および露光装置の保守方法 - 特許庁
ALIGNER, METHOD FOR FABRICATING DEVICE, FACTORY FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR AND METHOD FOR MAINTAINING ALIGNER例文帳に追加
露光装置、デバイス製造方法、半導体製造工場および露光装置の保守方法 - 特許庁
ALIGNER, METHOD OF MANUFACTURING DEVICE, SEMICONDUCTOR MANUFACTURING PLANT, AND MAINTENANCE METHOD OF ALIGNER例文帳に追加
露光装置、デバイス製造方法、半導体製造工場および露光装置の保守方法 - 特許庁
RETICLE, INSPECTION SYSTEM FOR ALIGNER, INSPECTION METHOD FOR ALIGNER, AND METHOD FOR MANUFACTURING RETICLE例文帳に追加
レチクル、露光装置検査システム、露光装置検査方法及びレチクルの製造方法 - 特許庁
To measure the Mueller matrix of an optical system included in an aligner, without disassembling the aligner.例文帳に追加
露光装置を分解することなく装置内部に含まれる光学系のミュラー行列を測定する。 - 特許庁
To increase the scanning speed of a scanning aligner to the highest speed without impairing the accuracy of synchronization and to enhance the throughput of the scanning aligner.例文帳に追加
同期精度を損なう事なく、走査速度を最高まで上げ、スループット向上を図る。 - 特許庁
ALIGNER, ITS ADJUSTING METHOD, AND METHOD FOR FABRICATING DEVICE USING ALIGNER例文帳に追加
露光装置、その調整方法、及び前記露光装置を用いるデバイス製造方法 - 特許庁
METHOD FOR MANUFACTURING PRODUCT, METHOD FOR MANUFACTURING ALIGNER, ALIGNER, AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE例文帳に追加
製品の製造方法、露光装置の製造方法、露光装置、及びデバイス製造方法 - 特許庁
METHOD FOR MANUFACTURING PROJECTION OPTICAL SYSTEM, PROJECTION OPTICAL SYSTEM, METHOD FOR MANUFACTURING ALIGNER, ALIGNER, AND EXPOSING METHOD例文帳に追加
投影光学系の製造方法、投影光学系、露光装置の製造方法、露光装置、および露光方法 - 特許庁
REGULATING METHOD OF LIGHTING SYSTEM AND REGULATING METHOD OF ALIGNER DEVICE, LIGHTING SYSTEM, AND ALIGNER例文帳に追加
照明装置の調整方法及び露光装置の調整方法、照明装置及び露光装置 - 特許庁
ALIGNER, MANUFACTURING METHOD FOR DEVICE, SEMICONDUCTOR MANUFACTURING PLANT AND METHOD FOR MAINTAINING THE ALIGNER例文帳に追加
露光装置、デバイス製造方法、半導体製造工場および露光装置の保守方法 - 特許庁
MEASURING METHOD AND ADJUSTING METHOD OF IMAGE FORMATION PERFORMANCE OF CHARGED PARTICLE BEAM ALIGNER, AND CHARGED PARTICLE BEAM ALIGNER例文帳に追加
荷電粒子線露光装置の結像性能の計測方法、調整方法及び荷電粒子線露光装置 - 特許庁
GALLIUM NITRIDE-BASED SEMICONDUCTOR LASER AND IMAGE ALIGNER例文帳に追加
窒化ガリウム系半導体レーザ及び画像露光装置 - 特許庁
MULTILAYER FILM MIRROR AND EUV ALIGNER例文帳に追加
多層膜ミラー及びEUV露光装置 - 特許庁
WAVELENGTH VARIABLE EXCIMER LASER AND ALIGNER USING SAME例文帳に追加
波長可変エキシマレーザおよびそれを用いた露光装置 - 特許庁
RECIPE-CREATING APPARATUS AND SEMICONDUCTOR ALIGNER例文帳に追加
レシピ作成装置、及び半導体露光装置 - 特許庁
SUPER NARROW FREQUENCY BAND FLUORINE LASER DEVICE AND FLUORINE ALIGNER例文帳に追加
超狭帯域化フッ素レーザ装置及びフッ素露光装置 - 特許庁
SEMICONDUCTOR ELEMENT MANUFACTURING SYSTEM AND ELECTRON BEAM ALIGNER例文帳に追加
半導体素子製造システム、電子ビーム露光装置 - 特許庁
ELECTRON BEAM ALIGNER AND ELECTRON BEAM SHAPING MEMBER例文帳に追加
電子ビーム露光装置及び電子ビーム成形部材 - 特許庁
ELECTRON BEAM EQUIPMENT AND ELECTRON BEAM ALIGNER例文帳に追加
電子ビーム装置及び電子ビーム露光装置 - 特許庁
STAGE DEVICE, SEMICONDUCTOR INSPECTION APPARATUS, AND SEMICONDUCTOR ALIGNER例文帳に追加
ステージ装置、半導体検査装置、及び半導体露光装置 - 特許庁
MULTIPLEX LASER LIGHT SOURCE AND ALIGNER例文帳に追加
合波レーザー光源および露光装置 - 特許庁
ELECTRON BEAM ALIGNER AND ELECTRON BEAM DEFLECTOR例文帳に追加
電子ビーム露光装置及び電子ビーム偏向装置 - 特許庁
MULTILAYER FILM REFLECTIVE MASK, ITS REGENERATING METHOD, AND ALIGNER例文帳に追加
多層膜反射マスク、その再生方法及び露光装置 - 特許庁
SEMICONDUCTOR LASER DRIVE CIRCUIT AND ALIGNER例文帳に追加
半導体レーザ駆動回路及び露光装置 - 特許庁
POINT DIFFRACTION INTERFEROMETER AND ALIGNER例文帳に追加
ポイントディフラクション干渉計及び露光装置 - 特許庁
ALIGNER AND COOLING METHOD OF SUBSTRATE CHUCK例文帳に追加
露光装置、および基板チャックの冷却方法 - 特許庁
ELECTRON BEAM ALIGNER AND ELECTRON BEAM EXPOSING METHOD例文帳に追加
電子線露光装置及び電子線露光方法 - 特許庁
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