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deflectionalを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
To suppress deflectional deviation of an electron beam for improving the writing positional accuracy by correcting the field magnification factor change due to the resist surface potential.例文帳に追加
被露光レジストに導電膜などを設けなくても、チャージアップを防止でき、レジスト解像力劣化などの問題無く、チャージアップ発生に伴う影響を防止できる電子線描画方法及び電子線描画装置を提供する。 - 特許庁
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