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depth dose calculationの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
The development rate distribution calculation step includes a step of calculating the development rate distribution based on two parameters which are the electron beam dose and the depth of dissolution of the resist by preliminary experiments.例文帳に追加
前記現像速度分布計算工程は、予めの実験による電子線の照射量（ドーズ）とレジスト溶解深度の２つのパラメータに基づいて前記現像速度分布を計算する工程を具備する。 - 特許庁
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