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fuvを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
To provide an optical coupling semiconductor device and its manufacturing method wherein an optical coupling semiconductor device having superior insulating characteristic can be formed in the state free from danger of FUV expose of a worker, manufacturing cost can be reduced by reducing activation treatment time by FUV, and cost of manufacturing equipment is low.例文帳に追加
良好な絶縁特性を有する光結合半導体装置を、作業者のＦＵＶ被爆の虞がない状態で形成でき、またＦＵＶによる活性化処理時間の短縮で製造コストが低減できると共に、製造装置コストの安価な光結合半導体装置及びその製造方法を提供する。 - 特許庁
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