意味 | 例文 (101件) |
individual variationsの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 101件
To provide a method and apparatus for dressing a polishing pad, a substrate polishing apparatus, and a substrate polishing method capable of constantly keeping a cutting rate of the polishing pad at the replacement of a dresser, preventing variations of a polishing rate and a polishing profile by individual differences of dressers, and pre-conditioning the dresser without affecting the polishing pad.例文帳に追加
ドレッサーの交換時の研磨パッドのパッドカットレートを一定に保ちドレッサーの固体差による研磨レート及び研磨プロファイルのバラツキを防止することができ、研磨パッドに影響を及ぼすことなくドレッサーの慣らしを行うことができる研磨パッドのドレッシング方法、研磨パッドのドレッシング装置、基板研磨装置、及び基板研磨方法を提供すること。 - 特許庁
意味 | 例文 (101件) |
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