セーフサーチ：オフ
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overhead loaderの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
A loader/buffer 11 is preferably provided with an elevated port for receiving wafer carriers from an overhead factory driving mechanism, allows for local interconnection among a plurality of the inventive apparatuses, and enables independent loading of the factory load port and the tool load port.例文帳に追加
装荷緩衝装置１１は、好ましくは、高架のファクトリ駆動機構からウェハ容器を受け取るため高架ポートを備え、複数の本発明の装置間の局部的な相互接続を考慮しており、そしてファクトリ装荷ポート及びツール装荷ポートの個別の装荷を可能としている。 - 特許庁
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